- Planarplasmaätzanlage
- сущ.
микроэл. плазменный реактор с плоскими электродами, пленарный реактор для плазменного травления, реактор с плоскими электродами для плазменного травления
Универсальный немецко-русский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный немецко-русский словарь. Академик.ру. 2011.